脈沖激光沉積（Pulsed Laser Deposition，PLD），也被稱為脈沖激光燒蝕（Pulsed laser ablation，PLA）指的是用激光使材料揮發(fā),從而將材料鍍在所要求的樣品（襯底）上的薄膜沉積技術。PLD-301脈沖激光沉積系統(tǒng)是日本誠南工業(yè)根據客戶的要求，在豐富經驗的基礎上設計制造的，采用PBN加熱器，可將基板加熱到1000℃以上，并采用氧氣氣氛，從而生產出高質量的薄膜。