日本EHC VD-400減壓室

日本EHC VD-400減壓室

一個(gè)減壓的干燥系統(tǒng)，帶有觸摸面板控制的配方操作。

VD-400是一個(gè)減壓室，用于在抗蝕劑應(yīng)用后對(duì)玻璃基材進(jìn)行涂層。

該設(shè)備用于減壓干燥。

VD-400減壓室特點(diǎn)。

通過觸摸面板控制簡化操作。

可進(jìn)行配方操作（允許復(fù)制操作程序）。

兩級(jí)排風(fēng)減少了風(fēng)的波紋和氣泡。

蝶形閥的使用使真空排氣量得以設(shè)定。

日本EHC VD-400減壓室

主要規(guī)格。

外部尺寸400毫米×400毫米，高度103毫米（蓋子關(guān)閉時(shí)）。

　　　　　　　 內(nèi)部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米

○ 真空：可實(shí)現(xiàn)的真空度約為1Pa或更低（無負(fù)載時(shí)）。

規(guī)格。

0室：外部尺寸400mm x 400mm，高度103mm（蓋子關(guān)閉時(shí)）。

　　　　　 內(nèi)部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米

0 真空系統(tǒng)：可實(shí)現(xiàn)的真空度：1帕或更低（不含樣品）

　　　　 干式泵250升/分鐘

達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)，自動(dòng)釋放到大氣中。

　　　　　 時(shí)間模式 在設(shè)定的減壓時(shí)間后自動(dòng)釋放大氣。

0 實(shí)用：3Φ AC200：干燥空氣 0.4-0.6 MPa：真空抽氣

z 外部尺寸：（寬）1000 x（長）800 mm x（高）1600 mm

0 設(shè)備重量：約250公斤